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无尘室是一个为了对空间內空气中的微粒做控制,所建造的特殊封闭性建筑。一般而言,无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。 无尘室依等级的不同,对一定空空內的微尘粒子最大容许量亦有一定规范,在国际标准中最常用的规范有Fed-Std-209E及ISO-14644,以下表格为Fed-Std-209E及ISO-14644的等级定义。
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